دقت ماشینکاری ابزارهای برش فلز CNC از سطح سیم اصلی (0.01 میلی متر) به سطح میکرون (0.001 میلی متر) بهبود یافته است و برخی از انواع به حدود 0.05 میکرومتر رسیده اند. برای خرد{4}}برش و سنگ زنی ابزارهای CNC فوق العاده دقیق، دقت می تواند به طور پایدار حدود 0.05μm باشد و دقت شکل می تواند به حدود 0.01μm برسد. دقت پردازش ویژه با استفاده از نور، الکتریسیته، شیمیایی و سایر منابع انرژی می تواند به سطح نانومتر (0.001μm) برسد. از طریق بهینه سازی طراحی ساختار ماشین ابزار، تکمیل و مونتاژ فوق العاده دقیق قطعات ماشین ابزار، استفاده از کنترل حلقه کامل{12}}با دقت بالا{13}}بسته- و فناوری جبران خطای دینامیکی مانند دما و لرزش، دقت هندسی، موقعیت ناهموار و شکل ماشین ابزار بهبود می یابد. کاهش یافته است. تا وارد دوران تکمیل-زیر{17}}میکرون و نانو-مقیاس فوقالعاده{19}}بشویم.
